燃烧气体分析系统
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燃烧气体分析系统
CIC Photonics, Inc. 是交钥匙实时在线气体分析设备的供应商，设备主要用于全球的半导体工业、电子专用气体行业，以及其他行业的气体分析。这些行业要求极高纯度的气体来保证产品的质量并保证投资回收率。
CIC Photonics 公司的目标是通过提供高灵敏度，快速响应时间的设备来取得交钥匙气体分析设备这一市场的相当的份额。为此，CIC Photonics 公司提供以下产品：
- IRGAS – 集成化的实时气体分析系统
- SPGAS – 专用气体分析软件
- SpectraStream – 快速响应光谱分析软件
- 燃烧和烟道、管路气体分析
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提供如下信息：
- 系统特点：
- 系统组成
- 系统检测气体范围
- 红外光谱仪性能指标
- Ranger™长路径气槽技术指标：
- SPGAS 气体分析软件
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CIC Photonics 公司的目标是通过提供高灵敏度，快速响应时间的设备来取得交钥匙气体分析设备这一市场的相当的份额。为此，CIC Photonics 公司提供以下产品：
- IRGAS – 集成化的实时气体分析系统
- SPGAS – 专用气体分析软件
- SpectraStream – 快速响应光谱分析软件
原理介绍
付里叶变换红外（FTIR）光谱仪的原理基础是几乎所有的分子都吸收红外光。只有单原子分子（He, Ne, Ar）和单极的双原子分子（H2, N2, O2,）不吸收红外光。查看更多应用领域
- 半导体晶片处理蚀刻专用气体产品- 燃烧和烟道、管路气体分析
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产品介绍
IRGAS-100 是软硬件集成化的气体分析系统，是用于半导体行业及其他行业的PPB级气体的实时在线监测工具。提供如下信息：
- 系统特点：
- 系统组成
- 系统检测气体范围
- 红外光谱仪性能指标
- Ranger™长路径气槽技术指标：
- SPGAS 气体分析软件
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IRGAS实时气体分析系统 - 原理介绍
付里叶变换红外（FTIR）光谱仪的原理基础是几乎所有的分子都吸收红外光。只有单原子分子（He, Ne, Ar）和单极的双原子分子（H2, N2, O2,）不吸收红外光。其它分子中的每个原子的电场的电荷差导致了分子的双极力矩，不同的分子将只吸收对该分子双极力矩有影响的红外线频率，即只吸收一定频率的红外线。因为特定频率的红外线可以与红外线光子进行作用，从而将该分子激发到更高的能量状态。单极双原子分子中的原子的电场是相等的，因而不存在双极力矩。单原子分子由于只有一个原子，了不存在双极力矩。因此单极双原子分子和单原子不吸收红外线，除些之外的其他分子都吸收红外线。付里叶变换红外光谱仪就是利用不同分子对不同频率红外线的吸收对气体成份进行定性分析，利用不同频率红外线被吸收的多少对气体成份进行定量分析。
付里叶变换红外光谱仪是70年代问世的，称为第三代红外光谱仪。仪器主要由光源，干涉计，气槽，探测器和控制分析部分组成。其中干涉计的主要作用是，是使由光源发出的两束光，经过不同路程后再聚到某一点上时，发生干涉现象，当两光束的光程差为λ/2的偶数倍时，则落到探测器上的相干光相互叠加，产生明线，其相干光的强度有最大值，相反，当两光束的光程差为/2的奇数倍时，则落到探测器上的相干光相互抵消，产生暗明线，其相干光的强度有最小值，通过连续改变干涉计中的反射镜位置，可在探测器上利到一个干涉强度对光程差（或时间）和频率的函数图。如果红外线通过待测气体，由于待测气体吸收了其中某些频率的能量，使得干涉图的强度发生变化，该干涉图经过付里叶变换后能得到吸收强度或透光率随步率或波数变化的普通红外光谱图。这套变换处理通过计算机来实现。
A. 半导体晶片处理
1. 晶体外延反应器
- 气体纯度监测
- 反应产品分析
- 终点确定
2. 蚀刻设备
- 处理气体监测分析
- 气源供应完好验证
3. 气体抽尽验证
- EPA regs 定量分析
4. 罐分析支持
- 过程气体质量验证
B. 蚀刻专用气体产品
1. 腐蚀和有害蚀刻气体
- 湿气分析
- 污染物确定
- 罐到罐验证
- 净化处理监测
2. 空气缩减气体
- 产品不纯分析
- 运送卡车现场分析
C. 燃烧和烟道、管路气体分析
- 燃烧发动机效率
- 烟草中致癌物评估
- 空运着火延缓剂确定
IRGAS实时气体分析系统 - 产品介绍
IRGAS-100 是软硬件集成化的气体分析系统，是用于半导体行业及其他行业的PPB级气体的实时在线监测工具。IRGAS系统基于工业级的傅里叶变换－红外（FTIR）光谱仪和镀镍不锈钢长程气槽。系统的电控气体多路管，泵系统和计算机系统都集成在一个不锈钢控制柜内。
系统特点：
- 交钥匙的实时在线傅里叶变换红外气体分析系统
- 独有的加权多波段CLS 算法，有效提高检测灵敏度
- 使用内置的HITRAN 气体标定数据库
- 高灵敏度长程不锈钢气槽
- 先进的计算机控制气体管路
- SPGASTM 和 SpectraStream 软件
- 整套系统管理+ 快速时间响应
系统组成
硬件部分：
1）傅里叶变换－红外（FTIR）光谱仪
2）长路径气槽
3）光学耦合系统
4）真空泵
5）气体管路，气阀和压力传感器
6）工业计算机系统
7）机柜
软件部分：
8）SPGAS 专用气体分析软件
9）系统控制软件
10）SpectraStreamTM算法
系统检测气体范围
系统可对以下HITRAN 数据库中的气体同时进行测量分析
HITRAN 数据库中的气体
H2O CO2 O3 N2O CO CH4 NO SO2 NO2 NH3 HNO3 OH HF HCl HBr HI CIO OCS
H2CO HOCl HCN CH3Cl H2O2 C2H2 C2H6 PH3 COF2 SF6 H2S HCOOH HO2 CIONO2 NO+ C2H4
系统检测极限: ppb级检测极限，一般可达5-25ppb
系统响应时间：<10秒
红外光谱仪性能指标
良好分辨率： 0.7cm-1
波数重复性： 0.001 cm-1
峰值信噪比： 30,000:1, 1min扫描时间，4 cm-1 分辨率，开放光束
100%线重复性：
＜0.1%, 中红外模式（MIR，4000－550 cm-1）
＜0.1%, 近红外模式（NIR，8000－4000 cm-1）
100%线性长期稳定性偏差：
＜2%, 中红外模式（MIR，4000－550 cm-1）
(16h) ＜2%, 近红外模式（NIR，8000－4000 cm-1）
扫描时间： 3s，DTGS探测器，分辨率4 cm-1
1.2s，快速探测器，分辨率4 cm-1
光束终点处的直径：2.5cm
最大光束发散角：90毫弧度
Ranger™长路径气槽技术指标：
窗口材料：KBr，CaF2或镀AR的ZnSe
压力范围：10-4 Torr到150 psig
温度： 可温控至260 ℃
SPGAS 气体分析软件
SPGAS 气体分析系统控制软件用于：
1）对系统的集成化管理，同步各硬件的工作
2）实时对气体进行定量的ppb级测量分析
软件功能及优点：
1）气体的标定基于HITRAN 数据
2）加权多窗口CLS数据分析
3）可进行无限的标定数据设置
4）基于工业标准操作系统(Win NT) 的32位结构方式
5）可对数据进行存储，查阅及各种分析
6）计算中包括有关仪器的参数，所以计算光谱与测量光谱的线形，分辨率及波长偏移相匹配
7）标定数据无噪声干扰
8）根据最小二乘法与测量光谱做到良好匹配
9）缩减动作成本
10）标定所需时间短
11）精度优于传统的方法
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